净化设备总厂空气净化工程部_滨州空气净化工程_山东康德莱净化
山东康德莱净化工程有限公司
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微环境的送风是由无尘车间送风系统提供，医院空气净化工程，其缺点是不灵活，净化设备总厂空气净化工程部，移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式（光刻机除外），微环境全部由工艺设备自带，与工艺设备紧密结合在一起，并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods．FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead hoist transport，OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气，经ULP过滤器处理后垂直下吹，以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。
。如果要提高局部区域的洁净度，除了无尘车间顶部要增加HEPA/ULPA过滤器外，还需增设循环机组，从而使改造难度大，而且对生产有较大影响；采用FFU系统，局部增加FFU台数或移动FFU位置均很容易实现，而且可以在不停产的情况下进行，对生产
新风处理及相对湿度保证
新风处理机组的功能段如图9所示，滨州空气净化工程，新风处理机组中设置初、中、高效三级过滤，以去除室外空气中的灰尘粒子，设高效过滤器很有必要，
几乎没有影响。
《药品生产质量管理规范》对洁净空调系统的特殊要求
1.1众所周知，《药品生产质量管理规范附录1：无菌药品》对洁净室动、静态定义
动态：指生产设备按预定的工艺模式运行并有规定数量的操作人员在现场操作的状态。
静态：指所有生产设备均已安装就绪，但没有生产活动且无操作人员在场的状态。
第三十八条无菌药品生产的洁净区空气净化系统应当保持连续运行，维持相应的洁净度级别。因故停机再次开启空气净化系统，环境空气净化工程，应当进行必要的测试以确认仍能达到规定的洁净度级别要求。
1.2《药品生产质量管理规范》第四十八条
洁净区与非洁净区之间、不同级别洁净区之间的压差应当不低于1O帕。必要时，相同洁净度级别的不同功能区域（ 操作间） 之间也应当保持适当的压差梯度。
１.３ 通过动静态的定义，
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